制备超纯水的流程：

制备超纯水的流程是：自来水→预处理系统→多级高压反渗透系统→ EDI 电除盐系统→ TOC 装置→抛光混床系统→用水点。在制备过程中，水泵作为动力源，各级储水箱要确保系统水泵能够安全、稳定运行。个别部位增加不同处理等级的过滤器，能够保证产水的品质。同时，在过滤器运行的过程中，添加各种药剂可以调节水的 pH 值，降低水中余氯，减缓 RO 膜的结垢速度等。冬季，在北方一些气温较低的地区，会在预处理系统进口处增加换热器，使自来水的水温满足设备产水工艺的要求。此外，在超纯水箱中，用氮气隔绝水与外界的介质是非常重要的，它能确保制备的超纯水不被空气二次污染。