1、制造工艺的的难易程度不同。

纯水的制作工艺是经过反渗透、蒸馏等方法制得的。

纯化水是用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜方法制备得到的制药用水。

超纯水是在纯水的基础上经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的。这样的水是一般工艺很难达到的程度，理论上可以采用二级反渗透再经过串联的混合型交换树脂柱对二次反渗水进行处理，但是交换树脂的再生不便，质量难以保证。

2、重金属、细菌、微粒数等指标也大不相同。

纯水杂质含量是ppm级，而超纯水为ppb级，这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。

3、用途不一样

纯水主要应用在生物、 化学化工、冶金、宇航、电力等领域。

纯化水一般作为供药用的水。

超纯水一般用于电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

4、电导率不同。

纯水电导率在 2-10us/cm 之间，纯化水电导率≤0.2us/cm，超纯水的电导率为 0.056us/cm。