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芯片制造行业用超纯水设备有哪些优势?

发布时间:2022-06-24


随着消费电子产品的普及,更新迭代速度越来越快,对芯片的要求也越来越高。这使得国内半导体产业持续快速发展,由于半导体元件集成度高,生产线窄,对水质的要求特别高,超纯水成为了电子行业用水的“标配”。

在芯片制造的过程中,一个非常重要的环节——清洗。微量污染会导致器件失效。清洗去污对水质的严格要求,就是为了防止造成二次污染。在芯片清洗过程中,不论是重金属等无机物,还是生产过程中接触到人带来的油脂、纤维,甚至是尘埃、细菌、微生物等颗粒物,都有可能导致芯片的各种缺陷。

超纯水设备作为芯片生产过程中的“标配”设备通常采用反渗透水处理设备、电去离子(EDI)设备和抛光混床相结合的方式制取超纯水,使其出水符合芯片生产用水需求,成为了芯片产业复兴的坚强后盾。

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