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为什么芯片生产要用超纯水?

发布时间:2022-06-28


一杯水对于人来说只要致病菌不过量,矿物质不超标,那就叫干净又卫生的水,可对于芯片来说水里有一丁点杂质,却是邋遢又致命。金属离子会影响器件的阈值电压,溶解气体会干扰硅片的氧化覆膜,细菌有机物能引起PN结的短路漏电,细小颗粒物会导致硅片的表面缺陷,因此能接触芯片的水,必须是超纯水

在我国,电子行业电子元器件的生产用水应符合GB/T 1 1 4 4 6.1-1 9 9 7《中国国家电子级超纯水标准》。半导体超纯水的电导率需要大于18.18兆欧每厘米,除此之外,对于芯片而言,水里一切化学成分几乎都有毒,比如硅会导致硅片缺陷,硼会导致硅片掺杂,氯会影响化学沉积,各种金属离子则会改变晶体管的电特性,所以芯片厂的超纯水系统要配备多种水质分析仪,对水的微量成分如离子、TOC、细菌、微粒等进行实时监测。

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