正如超纯水的电阻率只能代表水中电解质的含量，超纯水的pH值，也只能表示二氧化碳在水中的溶解程度，并不能代表超纯水水质的好坏。
超纯水的pH值为什么这么难测？
超纯水的pH值为什么这么难测，主要由超纯水的性质决定的，首先超纯水作为一种优良的绝缘体拥有极低的电导率，因此在测量过程中很难让pH计的测量电极和参比电极之间导通。溶解力极强的超纯水在溶解其他物质的同时依然保持本身的pH值，这就导致极其微小的污染也会使超纯水pH值不断变化。尤其是CO2的影响，溶于水中的CO2形成碳酸根离子，其电离显弱酸性，水解显弱碱性。且二者的反应是可逆的，这也会导致超纯水的pH数值不断变化。大大增加了超纯水pH值的检测难度。
如何更准确地测出超纯水的pH值？
由于超纯水独特的性质，导致其真正的pH值总是难以测量。测得超纯水更准确的pH值需要注意以下几个方面。
①尽量密闭的测量环境。超纯水pH值极易受到空气污染导致数值的不断变化。因此，国标规定pH测量必须在一个特殊的装置中密闭中进行。
②选择适合的pH计。由于超纯水极高的电阻率，会使得测量的电信号噪声变大，电极的反应变慢，因此需要使用针对超纯水等低离子强度溶液所设计的专用电极pH计进行测量，才能得到更准确的超纯水pH值。
③增加超纯水的电导率。由于超纯水的离子浓度极低，溶液中若没有足够的离子，当使用电极pH计对超纯水进行测量时，很难让pH计的测量电极和参比电极之间导通，无法满足普通玻璃电极pH计的测量要求，在低离子强度溶液下所测定的超纯水pH值一般会不合理的偏高。由于KCL属于中性盐，理论上并不会改变超纯水的pH值，因此，在遇到以上情况，可在水中加入适量KCL,增加水中离子强度，以提高离子在盐桥上的扩散能力。
④做好pH计的维护保养工作。测量超纯水pH值对于普通pH计而言属于极限条件下工作，极具挑战性，当检测出的超纯水pH值偏碱性时，可能表示pH计的的电极出现故障，比如电极膜老化或污染，因此要做好pH计的维护保养工作，比如经常更换电极中的溶液以及当电极不用时，请确认泡在KCL溶液中。
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