硼是地球上天然存在且广泛分布于自然界是非金属元素，所有的岩石中几乎都含硼，在水中的含量也较为丰富，主要以硼酸（水溶性）或硼酸盐（非水溶性）的形式存在。

为什么要检测超纯水中的硼含量？

硼是制造P型半导体的主要掺杂剂，在半导体等电子工业生产中，过量的硼会使n型硅反型，会影响电子、空穴浓度。硼也是制造晶元的重要物质之一，硼离子会影响电子接合进而影响晶圆生产的良品率，在半导体制造的过程中，水、气、化直接跟产品接触，超纯水的应用几乎贯穿了整个半导体的生产线，因此使用不含硼的超纯水是非常必要的。硼与硅一样都属于弱电离子，它们对电阻率的影响极小，在进行ppt级的痕量分析中，超纯水中的硼也不易被发觉。因此，要充分关注超纯水中的硼含量以及对硼的脱除。

水纯化系统中为什么会出现硼超标？

由于硼在地壳中的丰度较高，以及应用领域较广，使得硼在地表水、地下水、海水等原水水体中都有一定浓度的分布。硼在水中一般以硼酸和硼酸盐的形式存在，硼和硅一样是最先进入纯水的一类离子，硼的去除能力也被用来评价离子交换树脂的能力。当水纯化系统中的离子交换树脂消耗殆尽时，在较短的时间内大量的硼释放到纯水中，在这种条件下，即使产生的电阻率是可以正常的，但水中的硼含量是超标的。

如何去除超纯水中的硼？

当溶液中硼含量较高时，可利用沉淀、吸附等方法进行预处理，降低硼含量，减少后续的经济成本，同时可采用树脂法和膜分离进行深度除硼，以使原水达到饮用水和工业用水的标准和要求。以离子交换树脂、离子交换膜和电极组成的EDI对硼也有很好的去除能力，去除率高达99%以上。有研究结果表明，pH值控制在6-7之间，除硼效果最好。

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