超纯水精制系统分为纯水装置，水箱，超纯水装置三个部分。其中由于纯水装置处理污染物质的量最多，所以更有必要对其进行经常性的维护。如果不进行维护的话，就会给后续的超纯水装置增加很大的负担。甚至有可能会污染整个水纯化系统。因此水纯化系统定期维护非常重要。

1） 离子交换树脂的维护

使用离子交换柱时，离子交换树脂的官能团和进水中的离子持续进行置换，去除能力不断下降，所以需要对官能团进行定期再生。

离子交换树脂的处理能力（交换容量）是指每1ml湿润树脂所能置换的交换基的当量（单位时meq/ml）。比如交换容量为1meq/ml的离子交换树脂，大约可以交换50gCaCO₃。中国的自来水的硬度为30-200mg/l（自来水水质标准为450mg/l以下）。从而可推出，使用2meq/ml的离子交换树脂5l，以中国的自来水作为进水，从理论上计算可以处理几千升水。可因为水中含有类似于CaCO₃的碳酸盐以外的盐和游离碳酸，而且水中的一些酸性有机物会附着在离子交换树脂的官能团的表面，这些都会导致交换容量的降低。一般来说，大概可以处理1000L左右的进水。离子交换柱上一般都会附有一个电导率的检测仪，当电导率升高到了1μS/cm，就应该更换离子交换柱。

2） 蒸馏器的维护

在蒸馏器里，锅炉和加热器由于进水中的硬水部分（Mg，Ca等）比较容易产生结垢。为了去除结垢，有必要定期对锅炉和加热器用酸进行清洗。否则，随着结垢的附着加剧，就会使热交换率降低，并使消耗的电能加剧，纯化水量降低。而且由于热膨胀率的不同，可能造成加热器的损坏，使维护的成本增大。为了防止这些情况的发生，在蒸馏的前阶段最好使用离子交换器进行处理，当然离子交换器的管理也是非常有必要的。

另外，被纯化后的产水被储存在蒸馏器内的水箱中，长期的使用后水箱内部有时会因微生物的繁殖形成腐蚀。因此，同样有必要对蒸馏器的水箱进行定期清洗。

1） RO-EDI方式纯水装置的维护

预过滤中比较常用的纯化柱，一般以填充了活性炭的纯化柱为主，用于去除进水中较大的微粒和氯气，预过滤用纯化柱去除能力较低，维护时只需更换活性炭，具有较好的维护性。

反渗透膜因为会有结垢和细菌附着在膜的表面，所以有必要进行定期的清洗。其清洗过程非常简单，投入洗涤剂进行程序化操作即可。长期使用反渗透膜会造成劣化，有必要每2-3年进行更换。

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